球差场发射透射电子显微镜 HF5000

200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能.通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。

透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。

对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。